湖南首个第三代半导体产业园落成，将推动全产业链发展

历时11个月建设期，最高峰时1500多人同步施工作业，23日，总建筑面积22.2万平方米的湖南三安半导体产业园项目竣工点亮仪式顺利举行，这标志着湖南首个第三代半导体产业园落成，国内首条碳化硅全产业链生产线正式投产。

记者了解到，项目一期主要包含碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及相关配套设施建设，将成为推动湖南新一代半导体及集成电路产业链发展的强大动力。作为长沙产业链上的一颗“新星”，湖南三安半导体产业园项目蕴藏着怎样的奥秘?记者23日走进该项目一探究竟。

洁净等级标准领先于行业

“为了满足半导体制造工艺需求，生产车间必须达到洁净车间的标准。”项目施工方、中建五局三公司项目执行经理周祥告诉记者，洁净车间是指将一定空间范围之内空气中的有害空气、微粒子、细菌等污染物排除，并将室内压力、洁净度、温度、气流速度与气流分布、照明及噪音振动、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的空间。

周祥进一步解释，洁净标准一般按照一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等划分，数值越小，代表净化级别越高。“普通公共场所杀菌消毒可参照三十万级标准，医院ICU病房杀菌消毒参照十万级标准，而湖南三安半导体产业园项目半导体电子生产厂房M2B碳化硅芯片厂房为百级标准，每立方英尺的空气中大于等于0.5微米粒径的粒子数量不超过100个，洁净等级标准上远远领先于行业。”

为了保证无尘洁净室大面积生产车间的空气洁净度，需要建立洁净空调通风系统，车间楼板中需预留大量规则的圆柱形垂直孔洞，以形成回风通道。这种利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板结构称为华夫板，是一种钢筋混凝土密肋梁镂空楼板，此类楼板厚度可达700毫米。

将为长沙产业发展注入强“芯”剂

第三代半导体材料以其优异电性能特性，帮助电源变换系统实现优异的功率密度和卓越的系统效率，使其在新能源汽车、光储充等场景中发挥关键作用。湖南三安半导体产业园全面建成投产后，将形成两条并行的碳化硅研发、生产全产业链产线，产品为高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件，可广泛用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和5G通讯等领域。

三安光电股份有限公司副董事长、总经理林科闯表示，湖南三安半导体的业务涵盖衬底材料、外延生长、晶圆制造及封装测试等环节，打造了国内第一条、全球第三条碳化硅垂直整合产业链，为客户提供高品质准时交付，兼具规模化生产成本优势。

湖南三安半导体产业园的投产，将为长沙注入强“芯”剂，凭借完整的碳化硅产业链布局和强大的制造平台，项目将快速发展为具有自主知识产权、掌握核心技术与行业话语权、具有重要国际影响的碳化硅材料与器件产业生产基地。有利于形成以长沙高新区为中心的宽禁带半导体产业聚落，加速上游IC设计公司设计与验证迭代，缩短下游终端产品上市周期，推动产业链迅速发展。

据介绍，湖南三安半导体产业园项目总投资160亿元，总占地面积1000亩，项目建成达产后，预计可实现年产值120亿元，可直接提供4500个就业岗位，并带动上下游配套产业产值预计超1000亿元，提供近1万个就业岗位。

(全媒体记者 陈焕明 通讯员 王丽 杨灏)

关键词： 湖南 第三代半导体 产业园 产业链